晶棒直径
Φ350~Φ600mm
切割进给速度
5~20mm/min
晶棒材质
单晶硅
冷却水流量
<300L/h
晶棒长度
200~1500mm
压空用量
<60m³/h
晶棒平行度
≤0.5mm
排水连接孔径
<Φ100mm
晶棒加工崩边
≤5mm
设备外形尺寸(长宽高)
3800×1900×3150mm(长×宽×高)
切割表面质量
Ra≤10μm
设备重量
6t
环形线直径
≤0.65mm
设备功率
380V 7kW
1、不同规格硅棒切换灵活,满足直径Φ350-600圆棒切割 ;
2、大装载量,硅棒最长切割长度1500mm ;
3、硅棒支撑是采用粘料的形式以及浮动气缸辅助支撑,可以保证截断的崩边量 ;
4、最大可以50m/s 线速稳定切割,保证切割质量 ;
5、环线切割表面质量好 ;
6、环线张力由伺服电机控制,张力大小可调 ;
7、主动轮、张力轮以及从动轮都有连接气动润滑,即保证内部的密封性,又保证了充分的润滑,大大提高了轴承的使用寿命 ;
8、设备床身为焊接件,焊接后回火加工,刚性好,性能稳定可靠 ;