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硅、砷化镓、磷化铟加工设备碳化硅、氮化镓、蓝宝石加工设备硅部件加工设备

碳化硅切片机

主要技术指标
Main Technical Index
被加工件最大断面尺寸 8寸/10英寸 上料方式 前端上料
被加工件最大长度 300mm 切割液箱最大容量 150L
钢线母线直径 ≥Φ0.10mm 切割液泵最大流量 180L/min
钢线工作运行最大速度 30m/s 切割液温度 15-30°C,温度波动土0.5°C
收放线轮最大储线量 500~800km TTV控制 均值≤15μm
夹具摆动角度 0±12° WARP控制 均值≤30um
线运行方式 双向/单向 BOW控制 均值≤20μm
线张力 0-50N 主轴箱润滑方式 油脂润滑
主切割辊数量 3根 设备总功率 120 kw
张力轮数量 2个 设备外形尺寸 4300x2200x3400mm
进给滑台行程 250mm 设备自重 13.5t
设备优势
Machine tool edge

1、机床底座、主轴箱支座、垂直进给立柱、进给滑台均为一体铸造结构,采用高精度机床加工,设备结构稳定 ;

2、主轴采用进口NSK轴承,轴箱结构自主研发、装配,精度高于行业标准 ;

3、采用进口德国西门子运动控制系统及电机,保证长时间稳定运行 ;

4、夹具采用可摆动机构,保证加工时工件进行摆动式切削,切削受力均匀 ;

5、主轴冷却采用独立水箱,实现大流量控制方式,解决轴箱内部结露问题 ;

6、自动化配套设计可实现单机一键提料、一键自动对刀等功能 ;

7、TTV、WARP、BOW、表面线痕、崩边、断线率等指标控制优良 ;

8、晶托采用专利T形槽定位,保证加工晶向的准确性 ;

9、自主研发的专利软件控制系统,张力控制精准。