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硅、砷化镓、磷化铟加工设备碳化硅、氮化镓、蓝宝石加工设备硅部件加工设备

碳化硅金刚线截断机

主要技术指标
Main Technical Index
加工料尺寸范围 Φ4~12英寸 / L100mm 切片TTV ≤30μm
平均切割速度 0.3mm/min 设备重量 5.5t
切割工艺设定步数 ≥30 步 水箱容积 110L
钢线张力 0~110N(0.25线张力为45N) 设备尺寸 2480x2250x2160mm(长x宽x高)
钢线线速度 0~30m/S 设备总功率 50kw
金刚线线径 ≥0.18mm 切割断线率 ≤1% (人为原因,硅料、线、维护等原因除外)
 
设备优势
Machine tool edge

1、设备可以使用30m/s的高线速度稳定切割,切割效率高,产出比高;

2、设备可以选择旋转、料摇摆加工方式,更好的实现工艺的多种需求;

3、设备的加工精度高,截断样片的TTV均值30μm以内,远超同行业水平;

4、设备可以稳定使用0.18mm金刚线,张力控制精准,细线化在料损.上控制非常优秀;

5、设备使用汇川控制器,配置高精度伺服电机13个;

6、收放线系统排布在设备左右两侧,有效降低振动产生的影响,大幅度提升加工精度;

7、内防护全部采用不锈钢材料;床身采用铸铁材料,刚性好,精度稳定;

8、具备掏棒功能,大尺寸改小尺寸;

9、取样片后可以直接进行减薄,表征晶体简单快捷。