加工料尺寸范围 | Φ4~12英寸 / L100mm | 切片TTV | ≤30μm |
平均切割速度 | 0.3mm/min | 设备重量 | 5.5t |
切割工艺设定步数 | ≥30 步 | 水箱容积 | 110L |
钢线张力 | 0~110N(0.25线张力为45N) | 设备尺寸 | 2480x2250x2160mm(长x宽x高) |
钢线线速度 | 0~30m/S | 设备总功率 | 50kw |
金刚线线径 | ≥0.18mm | 切割断线率 | ≤1% (人为原因,硅料、线、维护等原因除外) |
1、设备可以使用30m/s的高线速度稳定切割,切割效率高,产出比高;
2、设备可以选择旋转、料摇摆加工方式,更好的实现工艺的多种需求;
3、设备的加工精度高,截断样片的TTV均值30μm以内,远超同行业水平;
4、设备可以稳定使用0.18mm金刚线,张力控制精准,细线化在料损.上控制非常优秀;
5、设备使用汇川控制器,配置高精度伺服电机13个;
6、收放线系统排布在设备左右两侧,有效降低振动产生的影响,大幅度提升加工精度;
7、内防护全部采用不锈钢材料;床身采用铸铁材料,刚性好,精度稳定;
8、具备掏棒功能,大尺寸改小尺寸;
9、取样片后可以直接进行减薄,表征晶体简单快捷。